Редактор: С Зи В книге ведущих американских специалистов освещены вопросы технологии изготовления кремниевых ИС В книге 2 рассмотрены вопросы ионно-плазменной технологии применительно к процессам удабхотыления вещества, металлизации ИС, моделирования основных технологических процессов формирования ИС Описаны основные технологические схемы изготовления элементов СБИС (биполярная технология, л—МОП- и КМОП-технологии), методы исследования и контроля технологических процевдчфмссов, герметизация готовых ИС, тестирование и надежность готовых ИС Для студентов старших курсов вузов соответствующего профиля, аспирантов и специалистов в области проектирования, технологии изготовления и применения ИС.
|